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FIB雙束掃描電鏡的工作流程,就差你不知道了

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  FIB雙束掃描電鏡是通過聚焦離子束(FIB)與掃描電子顯微鏡(SEM)耦合成為FIB-SEM雙束系統(tǒng)后,通過結(jié)合相應(yīng)的氣體沉積裝置,納米操縱儀,各種探測器及可控的樣品臺等附件成為一個集微區(qū)成像、加工、分析、操縱于一體的分析儀器。
 
  FIB雙束掃描電鏡的工作流程如下:
 
  1、執(zhí)行激光加工的設(shè)置步驟
 
  (1)將樣品裝載到樣品夾上并傳送到雙束電鏡主艙室。
 
  (2)導(dǎo)入、覆蓋和對齊蔡司關(guān)聯(lián)工作區(qū)的三維X射線數(shù)據(jù)或二維光學(xué)顯微鏡圖像等。
 
  (3)找到您的感興趣區(qū)域,獲取參考圖像。
 
  2、對齊掃描電鏡和激光坐標(biāo)
 
  (1)使用SEM掃描四個樣品架基準(zhǔn)點以鎖定樣品和SEM坐標(biāo)。
 
  (2)將樣品運送到集成飛秒(fs)激光室。
 
  (3)使用飛秒激光掃描四個樣品架基準(zhǔn)點以鎖定樣品和激光坐標(biāo)。
 
  (4)SEM和激光坐標(biāo)現(xiàn)已對齊。
 
  3、加工大量材料
 
  (1)繪制您的激光圖案。
 
  (2)曝光您的激光圖案。
 
  (3)以優(yōu)于2μm的目標(biāo)精度快速去除大量材料。
 
  4、將樣品傳送到雙束電鏡主艙室,讓您的雙束電鏡繼續(xù)工作
 
  (1)已經(jīng)能夠觀察到微結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)。
 
  (2)根據(jù)高分辨率成像的需要執(zhí)行FIB拋光。
 
  (3)使用新穎的工作流程創(chuàng)建TEM和原子探針樣品。
 
  (4)通過即時SEM反饋,快速優(yōu)化激光方案。

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