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場發(fā)射掃描電鏡的原理是什么?有哪些優(yōu)點(diǎn)?

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  場發(fā)射掃描電鏡可向樣品室充入多種氣體,在低真空下仍能獲得優(yōu)于2nm的高分辨圖像;可向樣品室通入水蒸氣,使含水、含油及不導(dǎo)樣品可直接觀察;可在樣品室內(nèi)對(duì)樣品做加溫、低溫處理,對(duì)化學(xué)反應(yīng)過程進(jìn)行實(shí)時(shí)觀測(cè)。該設(shè)備適用于納米材料精細(xì)形貌的觀察,可薛利高質(zhì)量高分辨二次電子圖像。該儀器配備的X射線能譜儀可對(duì)塊狀樣品做定性及半定量分析。
 
  場發(fā)射掃描電鏡的成像原理:
 
  來自掃描發(fā)生器的掃描信號(hào)分別送給電子光學(xué)系統(tǒng)的掃描線圈和顯像管的掃描線圈,讓電子束于顯像管的陰極射束做同步掃描,是陰極射束在熒光屏上的照射點(diǎn)(稱為像點(diǎn))與電子束在樣品上的照射點(diǎn)按時(shí)間順序一一對(duì)應(yīng),樣品上的物點(diǎn)在電子束作用下所產(chǎn)生的信號(hào)被檢測(cè)器隨時(shí)檢出,經(jīng)視頻放大器放大后控制顯像管陰極射束的強(qiáng)度使熒光屏上像點(diǎn)的亮度受試樣上物點(diǎn)所產(chǎn)生的信號(hào)的大小的調(diào)制,從而得到與樣品性質(zhì)有關(guān)的圖像。
 
  場發(fā)射掃描電鏡的優(yōu)點(diǎn):
 
  (1)有較高的放大倍數(shù),20-30萬倍之間連續(xù)可調(diào);
 
  (2)有很大的景深,視野大,成像富有立體感,可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細(xì)微結(jié)構(gòu);
 
  (3)試樣制備簡單,目前的掃描電鏡都配有X射線能譜儀(EDS)裝置,這樣可以同時(shí)進(jìn)行顯微組織形貌的觀察和微區(qū)成分分析。
 

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